Еще в 60-е годыполупроводниковые приборы сталипроизводить не только изотносительно редкого итруднодобываемого германия, но и изшироко распространенного кремния.В соединении с кислородом онбуквально валяется у нас подногами: из его двуокиси (кремнезема)на 58% состоит земная кора. Кремний -основа многих горных пород,минералов и полудрагоценныхкамней, из него на 90% и более состоит песок.

Помимомикроэлектронной промышленностикремний используют и в малойэнергетике - для изготовленияпластин солнечных батарей. И в том,и в другом случае необходимисключительно чистый кремний, апроцесс его очистки до нужногокачества весьма дорог иэкологически небезвреден. Обычноберут двуокись кремния (SiO₂) с высоким содержаниемпримесей (например, песок) и спекаютее при высокой температуре суглеродом (графитом, коксом,древесным углем или их смесями). Врезультате получают невысокогокачества кремний и выбрасываемые ватмосферу углекислый газ инекоторые летучие соединения, в томчисле и вредные. Кремний затемприходится очищать при помощихлора и соляной кислоты, парыкоторых тоже загрязняют атмосферу.

Авторами статьиразработана новая технологияполучения чистого кремния наоснове чистых разновидностейкремнезема. В специальноразработанных установкахвысокочистым углеродомвосстанавливают двуокись кремния(SiO₂) доокиси (SiO). Углерод при этом тожеокисляется до окиси (CO), которуюзатем разделяют на углерод икислород. Углерод снова подают вреактор, а кислород послемембранной очистки выводят ватмосферу, чем, естественно, ееобогащают.

Полученная вустановке при столь высокихтемпературах окись кремния - этогаз, который при быстром охлаждениилегко переводится в твердую фазу.Благодаря этому легко выделитьокись кремния, а затем получить изнее достаточно чистый кремний.

Что же касаетсяисходного сырья для новойтехнологии, то весьма чистаядвуокись кремния встречается вприроде в виде кварца, некоторыераспространенные разновидностикоторого содержат не более 0,0001%примесей. Кроме того, всегда естьвозможность использоватьискусственный кварц, егопроизводство в нашей стране давноналажено.

Г.ПЕТРОВ, Н. ЯСАМАНОВ. Новейшиетехнологии: путь к ноосфере илиприродной катастрофе? "ВестникРАН" том 68, № 2, 199